マスク検査装置 NPI-8000

高生産性最先端マスク検査装置

マスク検査装置 NPI-8000

最先端デバイスhp10nm世代の扉を開く技術を結集した最先端マスク検査装置

特長

  • 1) 最先端短波長199nmレーザーを搭載
  • 2) 60分以内の高速検査を実現
  • 3) 実用感度を高める機能等の先端アプリケーションを搭載

仕様

マスクサイズ 6inch
光源波長 199nm
スループット 60minutes
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