製品情報 ニューフレアテクノロジーの主力製品世界に誇る最先端技術 電子ビームマスク描画装置 最先端フォトマスクを製造するための電子ビームマスク描画装置 マスク検査装置 最先端フォトマスクの欠陥の有無を高精度に検査するマスク検査装置 エピタキシャル成長装置 高品質エピ膜の高速成長が可能な枚葉式高速回転エピタキシャル成長装置