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Interview

EBMを自らの手で進化させることで社会の発展への貢献を目指す

川名 亮
  • 描画装置技術部 データ制御技術グループ
  • 川名 亮
  • 2009年入社
    構造エネルギー工学専攻博士課程修了 工学博士

電子ビームの分野で世界最先端の仕事がしたかった

就職先にニューフレアテクノロジーを選んだのは、電子ビームの分野で世界最先端の仕事ができそうと感じたからです。私は大学院の博士課程で直接エネルギー変換という新しい発電方法の研究をしていたのですが、この際のプラズマを制御する技術が電子ビームの制御と共通する部分が多かったのです。電子ビームを使う機器の中でも、とりわけ電子ビームマスク描画装置(EBM)は半導体製造のおおもととなる非常に重要なもの。世界トップシェアの会社でEBMの開発に携わることで、社会の発展に貢献できると考えたのです。

多くの人に自分の考えを理解してもらいながら開発を進める難しさを学んだ

現在所属しているのは、EBMのデータ制御技術の研究開発を行っている部署。EBMでは電子回路のパターンをフォトマスクに描画していきますが、この際、どこに何秒間ビームを照射し、次はどこに進むのかといった、いわば「絵の描き方」を装置が理解できるよう、データを変換してやらないといけない。このデータ変換を高速かつ効率的に行えるようにするのがミッションになります。その中で私は主に、EBM内部にあるユニット間のデータ転送の高速化を担当しています。開発にあたっては、コンピュータでプログラミングをしてソフトを作成。続いてそのソフトを協力会社に作ってもらうハードに載せてテストをし、目標としているデータ転送速度に到達するまでソフトやハードの改善を繰り返します。EBMは極めて精密な装置で、ほんのちょっとしたことでデータ転送速度に大きな影響が出る。自分で「こうしたらいいのでは」としっかり考えた上で先輩にも意見をもらい、開発を進めていきます。大学時代にもシミュレーションや実験を頻繁に行なって研究をしており、そうした経験は今の仕事でも役立っていますね。一方で、学生の時は自分だけがわかっていればどんどん研究が進みましたが、今は協力会社の方など多くの人に自分の考えを理解してもらいながらモノづくりを行なっていかなくてはならない。このあたりは会社に入ってから学んだところです。

自分から意見を出して主体的に仕事ができるのがやりがいにつながる

ニューフレアテクノロジーは若手にも仕事を任せてくれる会社。ただ上から言われたことをやるのではなく、自分から意見を出して主体的に仕事ができるのがやりがいにつながっています。優秀な先輩がたくさんいて、成長のための環境も整っている。今後ますます実力を磨き、将来的にはデータ制御だけでなく、電子ビームそのものの制御の研究開発にも挑戦したいですね。