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Interview

ナノオーダーの評価を行いEBMの描画精度を突き詰める

廣瀬 暁
  • 描画装置技術部 システム技術グループ
  • 廣瀬 暁
  • 2012年入社
    精密工学専攻修士修了

要求精度をきちんと満たせるよう不具合の原因を究明する

私が所属しているシステム技術グループは、電子ビーム描画装置(EBM)全体を総合的に担当する、いわばインテグレーター的な部署。大きくマスクプロセスチームと描画精度評価チームに分かれており、私は描画精度評価チームで、当社の主力製品であるEBM-9000シリーズの、いくつかの描画精度項目の評価を担当しています。お客様先にEBMを納入するにあたっては、線幅やビームのポジションなどの要求精度をきちんと満たしている必要があり、もしそれができていなかったら、原因がどこにあるのかを突き止めなくてはなりません。そのため調査用のチップパターンや描画レイアウトを作成し、「この条件の時にはこういう描画結果が出たからここを改善すべき」というように検討を進め、最終的に装置に投入するデータの値を決めていくわけです。検討したデータに基づいて問題が解決できたときに、新しい課題が出てくることもありますが、周囲の先輩からアドバイスをいただきながら、さらなる改善を進めていきます。このような経験から、モノを作るときはまず実践してみる、それから考えることが大切だと教えられました。入社してから常に意識していることは、もちろん担当している装置のことを追求することも大切ですが、他の技術者の仕事内容や、担当外の装置についても広く知ることを心がけています。そうすることで様々な刺激を受けながら、常に新しい自分を目指して、努力ができると考えています。そのため、シンポジウムなどにも時間を作って出席するようにしています。

最先端の微細加工に携われるのがニューフレアを選んだ理由

私は学生時代に、原子間力顕微鏡を用いて、材料に対して直接、ナノオーダーの機械加工を行う研究をしていました。就職先を選ぶにあたっては当初、精密加工装置のメーカーなどを考えていましたが、直接加工の場合、まだナノではなく、マイクロオーダーの加工が主流なんです。その点、EBMであれば最先端の微細技術に携われるし、しかもニューフレアテクノロジーはそのEBMで世界トップシェアを占めているという点に惹かれて入社を決めました。学生の時に研究していた直接加工も、現在担当している電子ビームによるパターン作成も、ナノオーダーという点では同じで、感覚的には今の仕事に活かせています。とはいえ、まだまだ経験が足りず、わからないことも多い。描画精度の評価においても、先輩方は不具合の出方によって、「このあたりが原因だろう」とある程度目星をつけられるのですが、私はそこまで至っていません。今はとにかく、上司や先輩に教えてもらいながら、知識の吸収に努める毎日です。

グローバルに仕事をしたい人にも魅力的な職場

EBMは最先端の技術の集合体。ニューフレアテクノロジーには各分野において極めて優秀かつ経験豊富な方々が揃っていて、やる気さえあれば自分自身も深く広く学んで成長していけるのがいいですね。社内の風通しも非常に良く、わからないことについて尋ねると誰もが快く答えてくれます。また、装置の出荷先が海外であることが多いので、グローバルに活躍したい人にも、とても魅力的な職場ではないでしょうか。私も今後、EBMに関する知見をもっと深め、いずれは自分自身が先頭に立って装置開発をリードしていけるエンジニアになりたいと思っています。ナノの世界に興味があり、常に最先端の開発に携わりたいという意欲に燃えている方と、ぜひ一緒に仕事がしたいですね。