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episode.1

全く新しいプラットフォームは
過去からやってきた

描画装置技術部
メカトロニクス技術グループ
テクノロジーエキスパート
明野 公信

国家プロジェクトからスタートした
描画装置開発

ニューフレアテクノロジーで電子ビームマスク描画装置に携わる技術者はたくさんいますが、その中で私は最古参の一人と思います。私が1986年に新卒で入社したのは、東芝研究開発センターでした。そこでロボットやモーターなどに使うアクチュエーターの研究開発をしていたのですが、途中から半導体検査装置のステージ開発とシステム設計に携わりました。これがきっかけとなり、ニューフレアテクノロジーの前身である東芝機械の半導体事業部とつきあうようになったんです。
ちょうどこの頃、東芝機械で描画装置を事業化する話が持ち上がり、NEDOが推進する「超先端電子技術開発促進事業」プロジェクトに会社として参加することになりました。私は東芝機械に出向という立場でプロジェクトメンバーとなり、初代のEBM-3000の開発に携わりました。振り返ると電子ビームマスク描画装置を25年続けていることになります。

明野 公信

東芝が蓄積してきた技術も
活かせるという強み

これまでの仕事で一番の山場だったのは、2007年頃に携わったEBM-7000シリーズの機械系開発ですね。EBM-3000のリリースから10年が経ち、古くなった基本設計を一新する必要がありました。この頃のニューフレアテクノロジーはまだ若い会社で、蓄積した技術はまだ少なかったんです。そこでEBM-7000には、東芝研究開発センターの要素技術が多く盛り込まれることとなりました。新しい技術だけでなく、東芝が蓄積してきた技術も開発手法として選択できたのは、ニューフレアテクノロジーならではの強みといえます。
EBM-7000では、機械系システムのリーダーとしてメカ・制御・システムの開発を取りまとめ、要素技術の開発から評価、実用化まで一貫して推進しました。基本設計に1年、詳細設計に1年、耐久性の評価に1年、約3年でのリリースとなりました。このときの設計思想は現行のEBM-9500にも継承されているので、当時の設計思想の正しさが証明されたと自負しています。

明野 公信

若手がつかんだ情熱を育てたい

入社するとびっくりするかもしれませんが、ニューフレアテクノロジーは任せる社風があります。技術者は自分が担当する部分については、決定権と責任をもって開発を進めることができるので、機械系の場合は特に「ここは俺がやった」と誇らしく言える箇所が出てくると思いますよ。
これから入社する学生さんには、分野に縛られずにいろんなことを経験していってほしいですね。というのも私自身、東芝研究開発センター時代を振り返ると、IT、材料、半導体、機械設計など多くの専門家に接したことで、特定の分野に偏ることなく幅広い各種技術を身に着けることができました。入社前から「自分はこの分野を突き詰めたい」と決めていなくてもいいんです。柔軟にいろいろなことを経験する中から、自分が突き詰めたいものが見つかることもありますよね。仕事を導くだけでなく、若手がつかんだ情熱を後押しするのも先輩技術者の大切な役目です。これから入社するみなさんには、いろんなことにチャレンジするおもしろさを上司として提供していきたいと思っています。

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