伊藤 瑠美 伊藤 瑠美

システムテクノロジー 第一グループ

理学研究科
伊藤 瑠美

次世代描画装置の性能を正確に評価するための技術

私は次世代描画装置の性能評価に関する仕事を担当しています。具体的にはマスクに描画する際のプロセスとメトロロジー技術の開発です。私が担当しているプロセスは、感光材に電子ビームを照射した後、その下にある遮光膜にパターンを形成する工程です。途中の条件や使用するマスク材料と構造によって最終的な仕上がりが変化するので、描画性能を正確に評価するための条件を決める必要があるんです。お客様が求める描画性能にお墨付きを与える、最適なプロセスを追求しています。
メトロロジー技術は「測定」です。実は測定には、順番や測定器の特性によって誤差が生じることがあるんです。それを排除し、正確な測定を可能にするのがメトロロジー技術です。装置の性能が高くなるにつれて、評価に求められる技術のひとつです。

描画装置の評価に最適なマスク材料を探す

このほかに、いまは次世代描画装置の評価に最適なマスク材料を選定するために、材料メーカーと打合せを重ね評価を繰り返しています。複数の社外パートナー企業と二人三脚で、常に3~4種類のマスク材料を検討しています。
マスク材料は作りたいパターンによって、膜厚や感光材の材料などが変わります。感光材には感度が高いものと低いものがあるんですが、前者は早く感光するので大量生産に向き、後者はショットノイズの影響が少なくなるのでよりきれいなパターンができるという特徴があります。次世代マルチビーム描画装置はより高い精度が求められるので、その評価に最適なマスク材料を開発しています。検討中のもので予想どおりの結果ができたときは笑顔がもれますね(笑)

間違いや失敗を恐れず、挑戦できる社風

ニューフレアテクノロジーは専門家がたくさん集まっている会社。仕事でわからないところがあったら、ベテランに聞きにいけるので安心です。そしてベテランが見守る中で、早いうちから若手にも仕事を任せ、自主性を尊重する社風を感じています。仕事を1から10まで教わるのって楽ですけど、私はあまりおもしろくないんです。任された仕事を恐れずにやってみて、間違いや失敗からの学びを重ねるとでうまくいったときの充実感がリアルになる。日々仕事に感じる課題は、ここでは自分が成長できるチャンスになると思いますよ。

伊藤 瑠美

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