中曽 潔 中曽 潔

描画装置技術部 メカトロニクス技術グループ

主任
中曽 潔

ステージを制御するメカトロニクスエンジニア

私はメカトロニクスエンジニアとして、描画装置のステージのハードウェアとソフトウェアの設計、開発を担当しています。ニューフレアテクノロジーに入社したのは2001年になりますが、現在のステージ制御に携わって15年になります。大学時代に多軸工作機械とその制御プログラムの設計・製作を研究していました。いま携わっているステージはこの延長線上にあるので、大学時代に学んだ機械工学、電子工学、ソフトウェア工学の知識を活かすことができたと思います。

精度の敵は「振動」

ニューフレアテクノロジーの描画装置に搭載されるステージは、可変速描画という特徴を持っています。マスクに描画するパターンの密度が濃いところはステージを遅く、薄いところは速く動かすことで、全体の描画時間を短縮しています。実はこの早く遅くというところは、技術的な難易度が高いんですね。というのも動く速度が変わるとステージは振動します。これが描画位置の精度を落とすことがあるんです。
そこでハード的には振動しないこと、ソフト的には振動をコントロールすることが課題になります。ステージを担当するメカトロニクスエンジニアとしては、このハードウェアとソフトウェアの双方のアプローチで、精度を満たしていくんです。理論と実践を繰り替える地道な作業ですが、そこをどう乗り越えるかに大きなやりがいを感じています。

失敗を恐れずチャレンジできる環境がある

ニューフレアテクノロジーには、技術者がチャレンジできる社風があります。実際、私も師匠にあたる上司から「どんどんやれ」と言われてきました。失敗しても自分でなんとかできれば叱られることはありません。私も部下を持つようになり、彼らに「悩んでいるならやってみて」と言うようにしています。一緒に働く技術者たちには、次の次の世代の描画装置に適応できる、新しい技術の種を見つけることを期待しています。失敗を恐れずに、最先端を走り続けるためのチャレンジができる環境を存分に活用してほしいと願っています。
私たちが開発している装置は、電子ビームだけあっても描画できません。正確な描画を実現するために、電子ビームのほかに様々な機械が動いています。この機械の設計と開発を担当するのが、メカトロニクスエンジニアです。機械系に興味がある学生さんには、ぜひ弊社の仕事のおもしろさを感じてほしいですね。

中曽 潔

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