川畑 喜久 川畑 喜久

描画装置技術部 システム技術グループ

自然科学研究科卒
川畑 喜久

電子ビームを自動的に調整するアルゴリズム

私はマルチビームマスク描画装置の鏡筒を通る電子ビームをコイルや電子レンズで制御し、自動的に調整するアルゴリズムを開発しています。正確な描画を可能にする電子ビームの調整には、まず基準とする位置を決めます。この場合、基準はレンズやアパーチャの「真ん中」になります。基準とする位置は、SEM画像認識や電流値測定など様々な方法を駆使して検出します。そしてその基準からずれたビームをコイルで調整し、正確な描画を実現します。こうした装置のオペレーションを通して、どのコイルや磁場レンズを調整するかを割出し、それをシステムに組み込んでいます。

技術者の「こうやりたい」を後押し

マルチビーム描画装置の鏡筒構造は複雑なので、調整項目が多く、計画通りにはいかない大変さがあります。その中でこれまでの仕事で最もうれしかったのは、自分の調整方法が精度の面で評価され、採用されたことですね。ビームの歪みを調整する方法に悩んでいたときに、アパーチャを動かしてみたいと上司に提案したら、意外にもあっさりとOKが出て驚きました。ここでは技術者の「こうやりたい」を尊重する風土があります。「なぜそれをやりたいのか」という根拠を示すことができれば、自由にやらせてもらえます。技術者にとってやりがいが大きい環境だと思いますよ。

関係者を巻き込むコミュニケーション

まだ入社2年目ですが、根回しが上手くなったように感じています(笑) やりたいことがあるときは、普段からまわりにそれを伝えるようにしています。他部署も巻き込む場合は、事前に関係者にお願いしておくなど、正式決定がでるまでの準備を意識して動きます。こちらを読んでいる学生さんは、根回しという言葉にあまりいい印象を持たないかもしれませんが、まわりの技術者に早めに情報伝えておくことで、関係者全員に準備を促し、時間を無駄にさせないという効果があるんです。
現在の仕事はコーディングが3割、装置のオペレーションが7割で、ソフト開発がメインとなっていますが、いま目標にしているのはハードの知識を深めることです。5年後には装置全体を知った上で、自分から改善提案ができる技術者になっていたいですね。

川畑 喜久

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