鍋屋 信介 鍋屋 信介

描画装置技術部 ビーム制御技術グループ

工学系研究科卒
鍋屋 信介

次世代機の最重要デバイス“BAA”の開発

私は次世代機となるマルチビームマスク描画装置の最重要デバイスの1つ、ブランキングアパーチャアレイ(BAA)の開発に携わっています。BAAはマルチビームマスク描画装置の内部にあり、数十万本の電子ビームを制御するデバイスです。描画装置の精度とスループット向上を目的とした要素技術開発に加え、量産後の安定供給を視野に入れたデバイスの設計やシステム開発も行っています。
描画装置が量産される段階になると、部品の品質維持が重要となります。高いスペックのデバイスができたとしても、安定供給が実現できなければ意味がありません。「高性能・高品質なBAAを安定して供給する」ことを目指して開発を続けています。

先人の研究に新しいアイデアを加える

私はBAA開発に初期から携ってきたのですが、当初からBAAにはこれまでのデバイスとはまったく異なる、非常に厳しいスペックが要求されていました。次世代機に搭載されるデバイスとして、常識にとらわれないアイデアが必要とされていたんです。異なる分野の開発を並行して進める必要もあり、困難な道のりが予想されていました。
解決策の模索には、過去の研究がヒントになる瞬間もありました。数十年前の研究成果に、新しいアイデアを加えてみる。新しい技術ばかりに目を向けるのではなく、アイデアをつなげることで技術に息が吹き込まれることがあるんです。こうした試みがBAAの性能向上につながることもありました。大きな課題を乗り越え、新しいデバイスを生み出せたときの達成感は言葉に余りますね。

技術者がとことん議論できる環境

入社して3年目ですが、とても楽しんで仕事ができています。ここでは技術者同士、いつでも議論できる文化があり、自分のような若手にも真剣に向き合ってもらえます。幅広い世代の技術者と、技術についてとことん話ができるのはうれしいですね。技術者同士のコミュニケーションが盛んなことは、成果を出す鍵になっていると思います。
普段は5~7人ほどのチームで仕事をしているのですが、メンバーの1人ひとりは自分の裁量で動くことが多いですね。深い議論を行うことで技術的な理解を深め、各人それぞれが裁量を持って仕事に臨むことで、開発への意欲と熱意が生まれていると感じます。

鍋屋 信介

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