光学検査装置技術部保守・ソフトウェア技術グループシステムインテグレーション

電子工学科
眞野 敬史

世界の半導体製造を支える、検査装置の社会的責任

光学検査装置技術部で半導体マスク検査装置の保守を担当しています。お客様に検査装置を納入後、発生したトラブルや装置故障などの対応を行っています。
私が扱う検査装置は、EBM装置が石英基板上へ描画を行い、エッチング・レジスト除去工程を経て完成した半導体マスクのパターン形状評価を行う装置です。半導体マスク上に描いたパターンの欠落や破損を、欠陥として抽出します。検査装置はEBM装置の精度や信頼性を保証する上で欠かせないものであると同時に、半導体製造を支える社会的責任を感じながら仕事に取り組んでいます。

自分も先端装置を作りたい

実は大学院に在学中、就職活動はほとんどしませんでした。というのも研究で使っていた装置を通じて、自分も先端装置を作りたいという想いがあったんです。夢を叶えられそうな企業を探していたときに電子線露光装置のトップ企業であるNFTを知り、ここしかないと思い応募したのが入社のきっかけです。
大学でNFTに就職した先輩はいなかったので、私が最初の1人になりました。初めてNFTの採用webサイトをみた印象は、「わかる人にはわかる、すごいことをやっている会社」でした。世界のトップを走り続けるNFTなら、世界に通用する技術のスペシャリストになれるのではと感じました。

保守業務は、学ぶおもしろさが一生続く仕事

保守業務は検査装置の全体を把握するので、ハードとソフトの両方に関われるのが楽しいですね。仕事の場所は客先である社外と社内が半々です。お客様のところで発見した課題を社内の技術者に共有し、新しい機構の開発につなげることも多いです。
私が所属する保守チームは10名弱なのですが、いろんな持ち味をもつ技術者が集まっています。私が得意なのは搬送系です。検査装置の内部では、精密ロボットで決まった位置に正確にマスクを設置する必要があるんですが、私がその制御を担当することが多いです。
チームメンバーは日々勉強している人が多いですね。大ベテランの参事から、「最近これがわかったんだよ」と、新しい技術を学んだ喜びを聞くこともあります。一生学び続けられる保守業務の奥深さを感じています。