EGV-30GX 縦型バッチ式エピタキシャル成長装置

EGV-30GX 縦型バッチ式エピタキシャル成長装置

ニューフレアテクノロジーのEGVシリーズは優れたコストパフォーマンスで高品質なエピタキシャル成長を実現しています。

特長

  1. 6インチウェーハで従来比最大20%の生産性向上
  2. オーバーラップ制御でスループットが13%向上、省エネ&高生産性を実現
  3. パワーデバイスのニーズに応え、超厚膜エピや多層エピが可能

プロセス性能

ウェーハ処理能力 φ4:30枚 / Bach
φ5:21枚 / Bach
φ6:12枚 / Bach
膜厚均一性 面内 :±4%
バッチ内 :±6 %
バッチ間 :±3 %
比抵抗均一性 面内 :±4%
バッチ内 :±6%
バッチ間 :±3%
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