高速・高精度技術

高速・高精度制御技術・サッカー場に2秒で一円玉を敷き詰める!?

電子ビームマスク描画装置では、テレビのブラウン管と同様の原理で電子銃から発生させた電子線を用いてフォトマスク上に回路パターンを形成します。電子ビームマスク描画装置は複雑な回路パターンを形成するために、電子線のスポットの位置を正確に位置決めします。この時、フォトマスク上ではナノメートルオーダーの位置精度が要求されます。

その位置決めの精度と位置決めの速度を例えると、サッカー場に直径20mmの一円玉を0.2mm以内の誤差で、2秒以内に一つの抜けもないように敷き詰めるような正確さと速さに相当します。

高速・高精度の電気回路技術と電気制御技術により、初めて高スループットで高品質の半導体回路パターンの形成が可能となります。

高速・高精度制御技術・サッカー場に2秒で一円玉を敷き詰める!?
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